Wafer Z

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Hoja de Datos Wafer Z

Los tiempos de respuesta de milisegundos y el alto ancho de banda hacen que el sistema de posicionamiento de obleas WP-Z-120A sea ideal para aplicaciones donde el alto rendimiento es esencial. La platina está diseñada para albergar obleas de 300mm (12″) y ofrece un rendimiento excepcional con cargas de hasta 8 kg adecuadas para mandriles de obleas pesadas.

La platina utiliza sensores de posicionamiento capacitivos para proporcionar medición de desplazamiento nanométrico y retroalimentación de circuito cerrado. La guía de flexión ofrece un movimiento confiable y sin fricción en un rango de bucle cerrado de 120μm y logra tiempos de respuesta y estabilización rápidos con los controladores digitales de bucle cerrado de Queensgate.

• Inspección de obleas y máscaras
• Microscopios electrónicos SEM/TEM
• Interferometría y metrología
• Microscopía
• Inspección de materiales
• Posicionamiento del espejo

• Versión compatible con vacío (HV) ideal para usar en una cámara de vacío de un microscopio electrónico
• Versiones duras de ultra alto vacío (UHV) y UHV-RAD con cableado Kapton de baja desgasificación
• Versión personalizada de alta carga para uso de hasta 14kg
• Tip tilt Z versión personalizada para nivelación y escaneo de plataformas
• Rango extendido de 160μm
• Oblea de 200mm
• Placa adaptadora para uso con platina Prior Scientific H112