Platinas de 100µm x 100µm de dos ejes de la serie NPS-XY-100

Dibujos y Documentos

	Hoja de Datos Platina de Nanoposicionamiento NPS-XY-100A y NPS-XY-UHV
	Platina guiada por flexión piezoeléctrica NPS-XY-100D
	Platina NPS-XY-100A-NPS-0031-I-Iss2-1
	Dibujo de Instalación EN-014193-AD-1-QG-0213-IN-100001-NPS-XY-100D_PAxxxx1

La NPS-XY-100 es una platina guiada por flexión escaneada piezoeléctrica con sensores de posición de capacitancia integrados y es capaz de una resolución y reproducibilidad subnanométricas.

El análisis de elementos finitos de los mecanismos de guía de flexión ha reducido los movimientos angulares parásitos a menos de 25 microrradianes en el rango completo de 100 micrones. El exclusivo sistema de montaje isostático garantiza que las tensiones del sistema de montaje se alivian adecuadamente y establece el centro de la platina como el punto de referencia de coordenadas.

La NPS-XY-100A de dos ejes de 100µm x 100µm de platina Super Invar está hecho de construcción Super Invar (CTE 0.3ppm K-1) que minimiza la deriva térmica, en una escala nanométrica esto es muy importante. Con monturas cinemáticas de 3 puntos.

LA NPS-XY-100D de dos ejes de 100µm x 100µm Stage Super Aluminium está hecho de aluminio. Tiene la mejor resolución, la dinámica más rápida de la gama XY-100 y es la más rentable. Incluye montaje en 4 esquinas para una instalación sencilla.

• Recorrido de >100 micrómetros en cada eje con resolución subnanométrica


• Histéresis y error de linealidad < 0.005%


• Primera frecuencia resonante > 350 Hz (NPS-XY-100A) >500 Hz (NPS-XY-100B) >650 Hz (NPS-XY-100D)


• Altos anchos de banda (> 50 Hz) y tiempos de respuesta rápidos


• Escaneo in situ y optimización de la respuesta paso a paso


• Usar con NPS-Z-15A o NPS-Z-15H para opciones XYZ


• Construcción Super Invar (NPS-XY-100A), aleación de aluminio (NPS-XY-100B) o aluminio (NPS-XY-100BD)

• Microscopia de alta precisión
• AFM, FPM, NSOM

NPC-D-6330 Controlador digital de tres ejes