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Nanosensores Serie NX

El NanoSensor es un sistema de medición de posición sin contacto de extraordinaria sensibilidad basado en el principio de micrometría de capacitancia. Puede resolver picómetros con un rango de hasta 1.25mm. Dos placas sensoras (objetivo y sonda) forman un capacitor de placas paralelas.

Queensgate fabrica varios estilos de sensores de nanoposicionamiento: La serie NX, toda la construcción de metal, generalmente está disponible en aluminio o Super Invar. Hay materiales alternativos disponibles para adaptarse a los requisitos específicos del cliente; consulte a Queensgate.

Los sensores se pueden controlar con los controladores analógicos de un solo canal de última generación de Queensgate.

Si es necesario, se pueden producir sistemas multicanal personalizados, así como un diseño de cabezal de sensor personalizado. Queensgate ha producido numerosos sistemas personalizados exitosos para aplicaciones en Wafer Stepping y la Estación Espacial Internacional. Estaremos encantados de discutir sus requisitos específicos.

Descripción
Características
Aplicaciones

Dibujos y Documentos

	Hoja de Datos Nanosensor Series NX
	Guía Técnica Nanosensor
	Dibujo de Instalación Nanosensor
	Instrucciones Manejo y Montaje del Nanosensor

Sensor de nanoposicionamiento: NanoSensor para lo último en monitoreo de posición

El NanoSensor® es un sistema de medición de posición sin contacto basado en el principio de micrometría de capacitancia. Dos placas sensoras, un objetivo y una sonda, forman un capacitor de placas paralelas.

El espaciado de estas dos placas se puede medir utilizando el controlador electrónico apropiado, mejor que las 7pm, con un rango de hasta 1.25mm, una respuesta de frecuencia de hasta 10KHz y una linealidad de hasta 0.02%. Debido a que el NanoSensor es un método sin contacto, está libre de histéresis. No se disipa potencia en el punto de medición.

• Resolución de posición subnanométrica
• Histéresis cero
• Error de linealidad hasta 0.02%
• Ancho de banda hasta 10kHz
• Construcción de alta estabilidad térmica (opciones Super invar, zerdur y cerámica disponibles)
• UHV, Radiación, Criogénico, No magnético, etc. Variantes

• Fabricación de precisión
• Metrología
• Mediciones de deformación
• Medición de manchas (utilizada en el brazo y la mano robóticos de la estación espacial)
• Control de Platina
• Pruebas de materiales
• Microscopía
• Óptica Activa
• Dirección de haz de precisión

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