Beneficios y características

Herramienta de acceso remoto

El cargador está equipado con una función de servidor web. Cuando el cargador está conectado a una LAN, puede crear recetas de inspección en una PC y hacer copias de seguridad fácilmente de los datos del cargador.

1 Funciones de apoyo a la preparación de recetas

Un asistente de navegador web lo guía a través de los pasos que se reflejan en el NWL200. Esto le permite preparar recetas óptimas de forma segura y sencilla, mientras se comprueba el estado de las obleas.

2 Mantenimiento de equipo

Realice copias de seguridad y restaure recetas de inspección fácilmente.

Medidas anticontaminación

Para evitar que surja polvo por fricción o impacto al centrar las obleas, el centrado y alineación de los planos y muescas de orientación se realiza sin contacto utilizando sensores fotoeléctricos. El sistema está configurado para no interrumpir el flujo descendente de aire limpio en la sala limpia, y se toman medidas para evitar que surjan partículas en la superficie de succión de la oblea. Además, la cubierta es de acero inoxidable para evitar la acumulación de polvo y electricidad estática. Se han tomado todas las medidas para garantizar que el proceso de producción de semiconductores altamente integrado actual esté protegido contra la contaminación durante la inspección.

Alta fiabilidad

Si ocurre un error, se muestra un mensaje de error en el panel LCD. Incluso cuando se apaga la alimentación, el mandril de vacío del mecanismo de inspección macro permanece encendido. Si ocurre un problema, las obleas del cargador pueden devolverse al transportador sin el uso de pinzas.

Funciones de macroinspección

Además de las inspecciones macro del lado del patrón de todas las áreas, la inspección macro de la periferia del lado posterior y el centro del lado posterior son compatibles de forma estándar. Los parámetros de inspección macro, como la velocidad de rotación de la oblea y el ángulo de inclinación, se pueden configurar de forma automática o manual. Utilice las perillas de configuración macro para preestablecer la configuración inicial y realizar más ajustes con el joystick. Además, el nuevo sistema de iluminación WIL-LED permite una iluminación más uniforme en un área más amplia. Hay varios sistemas de iluminación disponibles, desde iluminación puntual hasta iluminación uniforme de área amplia.

Inspección macro del lado del patrón (usando un iluminador WIL-LED)	Inspección macro del centro del lado posterior (usando un iluminador de fibra óptica)	Inspección macro de la periferia del lado posterior (utilizando un iluminador de fibra óptica)

 Características orientadas para un rendimiento máximo

El elevador no solo es sorprendentemente rápido, sino que el mecanismo de centrado sin contacto permite realizar la alineación de forma rápida y precisa. El sistema de brazos múltiples también permite cargar y descargar obleas con total precisión, aumentando la eficiencia general de transferencia e intercambio de obleas. Esto reduce drásticamente los tiempos de ciclo, logrando niveles de rendimiento nunca antes vistos en ningún otro sistema.

 Botones con ranura para obleas

Los nuevos botones de ranura para obleas en el panel frontal permiten a los usuarios seleccionar cualquier oblea de su ranura con un solo botón. Además, el panel LCD grande y prominente permite a los usuarios establecer las condiciones, como los patrones de muestreo e inspección, y verificar el estado operativo y el contenido de los errores de un vistazo. Las pantallas están organizadas en una estructura jerárquica con una pantalla para cada tarea, lo que da como resultado un formato de diálogo intuitivo para un progreso sin problemas a través de los pasos. Un conjunto completo de funciones de administración de archivos para portadores, muestras, etc. es útil para automatizar la inspección.

El diseño modificado ofrece una ergonomía mejorada

Para garantizar el funcionamiento en una postura natural, la eficiencia ergonómica está diseñada en todos los aspectos del sistema. Las teclas de operación y las perillas están ubicadas al alcance del operador, por lo que la operación requiere un movimiento mínimo de la mano o el ojo. Los portadores de obleas están ubicados en la parte delantera y 35 ° a la izquierda del operador, lo que facilita la carga de los portadores y la verificación visual de las obleas dentro de los portadores.

Nuevo sistema de portabrocas compatible con obleas de 100 µm

Las obleas se están volviendo más delgadas con los avances en los procesos de fabricación, por lo que es necesario colocar a mano obleas muy delgadas en el microscopio para su inspección en la etapa posterior al proceso. Con el nuevo sistema de mandril de Nikon, la serie NWL200 puede cargar obleas ultrafinas con un grosor de tan solo 100 µm. Este alto nivel de seguridad y confiabilidad cumple con todos los requisitos para la inspección de las obleas más recientes.

Funciones mejoradas de detección de obleas

Dado que las obleas delgadas pueden sufrir una distorsión significativa en el soporte, el brazo puede dañarlas si los sensores de posición no son precisos. En el pasado, era difícil para los sensores leer la distorsión de las obleas con precisión, pero con la disposición optimizada de los haces del sensor de obleas, la serie NWL200 puede detectar con precisión la forma de obleas delgadas en el casete.