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 Confocal
de Luz Blanca + Confocal Láser
En 1985, Lasertec lanzó el primer microscopio de barrido
láser confocal RBG. Décadas más tarde, el Optelics
HYBRID Confocal con la óptica legendaria de Nikon
continúa con el legado.
Con dos juegos de óptica confocal combinados con
funciones adicionales, este microscopio realiza
múltiples tareas que normalmente requieren varias
herramientas diferentes, incluida la interferometría, el
contraste de interferencia diferencial, la
reflectometría espectroscóptica y la medición del
espesor de la película. Es el primer microscopio
confocal multifuncional y de alto rendimiento de este
tipo del mundo, listo para satisfacer sus necesidades de
inspección.
6 funciones avanzadas de imágenes en una
Optelics HYBRID ofrece una variedad de ópticas
confocales únicas que no encontrará en ningún otro
lugar. Con dos fuentes de iluminación, luz blanca y
láser, el Optelics HYBRID ofrece un microscopio de
vanguardia con imágenes a todo color de 24 bits.
Optelics Hybrid proporciona conmutación de canal de
longitud de onda. Las longitudes de onda RGB se pueden
detectar de forma simultánea y separada, lo que brinda
la capacidad de obtener imágenes de las muestras más
desafiantes.
Con un método de escaneo de luz patentado y un campo de
visión de hasta 15 mm, el Optelics HYBRID maximiza el
rendimiento de la lente de objetivo de gran apertura y
bajo aumento.
 El
primero en su clase, HYBRID ofrece 6 funciones en un
solo cuerpo
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Confocal de luz blanca
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Láser confocal
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Interferómetro de luz blanca escaneado verticalmente
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Interferómetro de cambio de fase
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Medición espectroscópica del espesor de la película
por reflectometría
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Observación de contraste de interferencia
diferencial
La ventaja híbrida de Optelics
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Más rápido: con una frecuencia de cuadro de 15 Hz,
el Optelics Hybrid es aproximadamente 4 veces más
rápido que un CLSM típico. Esto lo convierte en una
herramienta poderosa para la medición automática de
alta velocidad, el mosaico y la observación de video
de alta velocidad.
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Campo de visión más amplio (FOV): con un FOV de
hasta 15 mm de ancho, Optelics HYBRID ofrece una
amplia cobertura tanto para la observación como para
la medición.
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Más precisa: la óptica confocal ofrece imágenes de
alta resolución y alto contraste con una mínima
interferencia de luz dispersa. Esto permite que
Optelics HYBRID proporcione mediciones de alta
precisión en x, y y z.
Funciones analíticas y de medición
Optelics HYBRID puede completar múltiples tareas y
funciones que anteriormente requerían una variedad de
herramientas, ofreciendo una eficiencia sin precedentes
junto con una precisión y exactitud excepcionales.
Algunas aplicaciones HÍBRIDAS incluyen:
 Medición
de perfil y comparación
Capacidad para medir y comparar parámetros de muestra.
Medida de ancho e inclinación
Ideal para medir anchos de línea de patrones de
semiconductores con precisión y repetibilidad líderes en
la industria.
Medición de rugosidad superficial
La medición de rugosidad de alta resolución es posible
para cualquier muestra, gracias a la medición precisa
sin contacto del Optelics HYBRID.
Análisis de propiedades geométricas
Optelics HYBRID tiene la capacidad de analizar más de 20
propiedades, incluido el área, el volumen, el centro de
gravedad y más.
Medición 2D
Mida características bidimensionales como longitud,
ángulos, radio y recuento de características.
Medida de diferencia de altura
Medición del parámetro Z en el área especificada por el
usuario.
Medición de espesor de película
Optelics HYBRID calcula ópticamente la distancia entre
la superficie de la película y la superficie del
sustrato utilizando microscopía confocal /
reflectometría espectroscópica
Funciones opcionales para sus necesidades
específicas
 El
Optelics Hybrid puede personalizarse según sus
necesidades específicas. Desde software automatizado
para ayudarlo a inspeccionar las piezas más rápidamente
hasta una platina motorizada para una mayor eficiencia,
existen muchas opciones para ayudarlo a aprovechar al
máximo su microscopio.
Estas son solo algunas de las opciones:
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Software de medición automática
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Software de autoinspección
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Etapa motorizada
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Etapa de inclinación
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Escenario grande / especial
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Soporte electrostático
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