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Semiconductores / Inspección
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Óptica al
infinito CFI
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Con
una distancia parafocal de 60mm y un diámetro de objetivos más largo, la
óptica Nikon CFI60 brinda mayor distancia de trabajo y mayores aperturas
numéricas. Los resultados de esta remarcable tecnología son imágenes
extremadamente nítidas de alto contraste con un destello mínimo.
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Control
Motorizado
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Los
procedimientos microscópicos usados con frecuencia tales como el ajuste
de apertura, enfoque, cambio de objetivo, intensidad luminosa y cambio de
técnica de observación se pueden ahora ejecutar desde un control remoto
colocado en forma conveniente.
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Control de
Receta
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Todos
los ajustes se pueden programar previamente permitiendo al ingeniero
seleccionar el ajuste óptimo para la inspección de cada sustrato o capa,
permitiendo la estandarización de las rutinas de inspección.
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Nuevo Revolver
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Usando
el mismo porta objetivos patentado con diseño codificado que el L200, el
L200A incrementa la precisión de posicionamiento aun más al ofrecer 3
posiciones centrables manualmente.
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Compatible con
DART
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En
interfase con el programa DART, el L200A no solamente ofrece un número
infimito de recetas, además ofrece un fundamento sonoro para un sistema
completamente automatizado de inspección. Los módulos completos del DART
de inspección y revisión ofrecen un paquete de inspección para
ajustarse virtualmente a cualquier requerimiento.
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Compatibilidad
con cargador de obleas (Wafer Loader)
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El
L200 ha sido diseñado para trabajar con las series NWL860 de cargadores
de obleas.
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Auto Enfoque
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El
tubo intermedio auto enfoque usa un LED infrarrojo para obtener un enfoque
preciso. Los controles están localizados en el control remoto del L200A
eliminando la necesidad de cajas de control adicionales.
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Módulo
Confocal
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Combinado
con la soberbia resolución y el alto contraste las series ópticas
L200, permiten que la opción confocal
retro alimentable incrementen los patrones finos en capas múltiples
LSI
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Módulo de
Enfoque Súper Fino
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Cuando
se monta en el mando de enfoque en cualquier microscopio Eclipse L200,
el módulo de enfoque súper fino ofrece control preciso de enfoque
cuando observa muestras con poca profundidad de campo. Incrementando
el engrane de enfoque fino 5 veces, es la adición perfecta al módulo
confocal.
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Opción
Motorizada DIC
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Programación
de recetas de las condiciones óptimas de observación, incluyendo
posición de enfoque, apertura, intensidad luminosa, cambio del
revolver, y cambio campo claro/campo oscuro, elimina la necesidad de
reajustar los parámetros para cada proceso de inspección
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